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高精密光学轮廓仪

简要描述:中图仪器SuperViewW系列高精密光学轮廓仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

  • 更新时间:2022-08-05
  • 产品型号:SuperViewW系列
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:147

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域农业,能源,航天,汽车,综合

中图仪器SuperViewW系列高精密光学轮廓仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。


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SuperViewW系列高精密光学轮廓仪广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。如在芯片封装测试流程中,晶圆减薄和晶圆切割工艺需要测量晶圆膜厚、粗糙度、平整度(翘曲),晶圆切割槽深、槽宽、崩边形貌等参数。


SuperViewW1光学轮廓仪的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而型号为SuperViewW1-Pro 的光学轮廓仪相比 W1增大了测量范围,可完全覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。


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产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


部分参数

Z向分辨率:0.1nm

横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重复性:0.1nm

表面形貌重复性:0.1nm

台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

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