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白光干涉显微轮廓仪

简要描述:SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;以白光干涉技术为原理,可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,从而实现器件表面形貌3D测量。能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

  • 更新时间:2024-05-12
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:945

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器产地类别国产
重量150kg应用领域综合

SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪以白光干涉技术为原理,可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,从而实现器件表面形貌3D测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


国产白光干涉仪品牌,白光光学轮廓仪.jpg

产品功能

1)SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


国产白光干涉仪品牌,白光光学轮廓仪.jpg


轮廓分析步骤:

1.将样品放置在载物台镜头下方;

2.检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;

3.使用操纵杆调节Z轴,找到样品表面干涉条纹;

4.微调XY轴,找到待测区域,并重新找到干涉条纹;

5.完成扫描设置和命名等操作;

6.点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);

7.台阶样品分析第一步:校平;

8.进入数据处理界面,点击“校平"图标,和平面样品不同,台阶样品需手动选取基准区域,选好基准区域后,先“全部排除"再“包括";

9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致,可多选择几个区域作为基准面进行校平;

10.台阶高度测量:线台阶高度测量

11.进入分析工具界面,点击“台阶高度"图标,即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据;

12.在右侧点击“手动检测",根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域,数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值;

13.台阶高度测量:线台阶高度测量

14.进入数据处理界面,点击“提取剖面"图标,使用合适方向的剖面线,提取目标位置的剖面轮廓曲线;

15.进入分析工具界面,点击“台阶高度"图标,由于所测为中间凹槽到两侧平面高度,因此点击右侧工具栏,测量条对数选择“2",将红色基准线对放置到凹槽平面中间,两对测量线对分别放置在两侧平面,即可在数据缆读取台阶高度数据。


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