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国产白光干涉显微镜

简要描述:SuperViewW1国产白光干涉显微镜以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

  • 更新时间:2024-05-13
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:661

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器产地类别国产
应用领域化工,能源,电子,电气,综合

SuperViewW1国产白光干涉显微镜以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

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产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


SuperViewW1国产白光干涉显微镜用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

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应用行业

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等。

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例

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自动拼接功能特点

根据精度要求,SuperViewW1白光干涉仪可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法,并可依据表面粗糙程度,选择不同步距进行速度调节。

针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperView W1的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

EPSI重建算法.jpg

需要测量不含凹面区域的表面轮廓和平整度时,表面较为粗糙且定测量区域情况下,可使用高速FVSI算法,并在拼接测量设定时,使用地图导航功能,在扫描时即可自动跳过凹面区域完成其余整体形貌的拼接测量。

地图导航功能.jpg

SuperviewW1白光干涉仪自动拼接测量功能不管是在粗糙或是光滑、异形或是平面结构,当要测量超出适配镜头下的单视场区域的时候,可以根据不同表面特点进行重建算法的切换。

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