产品简介

SuperViewW工业表面3D检测白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器SuperViewW工业表面3D检测白光干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可对各种精密期间及材料表面进行亚纳米级测量，从而实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

一、产品特点

1. 全场景覆盖：单一扫描模式适配超光滑到粗糙、镜面到全透明/黑色材质，从纳米到微米级工件的粗糙度、平整度、微观轮廓等参数均可精准测量，无需更换设备即可满足多类产品检测需求。

2. 高精度+大范围双突破：复合型EPSI重建算法解决传统技术瓶颈，自动拼接功能支持方形、圆形等多种模式，数千张图像无缝拼接，超光滑凹面弧形扫描也能实现无重叠缝隙重建。

3. 高效自动化降本增效：一键完成单/多区域自动测量、批量分析，编程测量功能可预设流程实现一键操作，单个精细器件测量用时短，大幅提升检测 throughput。

二、产品功能

1.样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；

2.单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；

3.多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；

4.自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；

5.编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；

6.数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；

7.数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

8.批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；

9.数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；

10.故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；

11.便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；

12.环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；

13.气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；

14.光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；

15.镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。

三、自研软件平台

Xtremevision Pro第二代3D测量软件平台，集成图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量四大模块，适配中图W/VT/WT系列所有3D仪器机型。支持白光干涉与共聚焦显微镜自动切换，可直接测量微观平面轮廓的距离、角度、半径等参数，搭配灵活自动拼接功能，自定义测量区域无限制。

四、应用场景

中图仪器工业表面3D检测白光干涉仪广泛应用于精密制造、电子半导体、汽车零部件、新材料、医疗器械等领域，可对产品表面粗糙度、磨损/腐蚀情况、台阶高度、加工缺陷、孔隙间隙等形貌特征进行精准测量分析，为产品质量控制、工艺优化提供可靠数据支撑。

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

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