产品简介

VT6000系列3D轮廓尺寸共聚焦显微镜主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；以及2)二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量。

中图仪器VT6000系列3D轮廓尺寸共聚焦显微镜主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；以及二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量。广泛应用于超精密加工行业高效管控，如半导体制造、3C电子、航空航天等超精密加工领域。

一、产品功能

（1）3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；

（2）影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；

（3）自动拼接功能：设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量；

（4）数据处理功能：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；

（5）分析工具功能：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

（6）批量分析功能：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

（7）便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；

（8）光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；

（9）镜头安全功能：VT6000系列3D轮廓尺寸共聚焦显微镜设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。

二、产品特点

1、精度与效率双提升：相同物镜下横向分辨率更高，图像细节更清晰，直观测量模式+批量分析功能，大幅缩短检测周期，降低时间成本。

2、全场景测量覆盖：从纳米到微米级，无论是光滑/粗糙表面、低/高反射率材质，均可精准测量粗糙度、平整度、微观几何轮廓等关键参数。

3、安全与稳定双保障：双重防撞保护+光源智能节能设计，减少设备损耗，延长使用寿命，降低运维成本。

4、合规：符合ISO/ASME/EUR/GBT等多行业国际标准，300余种2D/3D参数测量能力，数据可追溯。

三、应用行业

1、核心应用领域：半导体制造及封装、3C电子玻璃屏与精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件。

2、拓展应用场景：航空航天零部件检测、科研院所研发实验、超精密加工行业品质管控等。

注：产品参数与配置可能因技术升级调整，具体以实际沟通为准。

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