产品简介

PLR3000高精度位置反馈激光干涉尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，一站式解决高要求场景下的位置检测难题，为超精密加工、微电子制造、航空航天等领域打造“精准+高效+灵活"的测量体验。

中图仪器PLR3000高精度位置反馈激光干涉尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，一站式解决高要求场景下的位置检测难题，为超精密加工、微电子制造、航空航天等领域打造“精准+高效+灵活"的测量体验。

一、产品功能

1. 纳米级信号输出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交数字/1Vpp正余弦信号双输出，适配各类控制器；

2. 全环境自适应：一体化环境气象站，实时补偿环境参数对测量的影响，数据长期可靠；

3. 灵活安装设计：激光主机与探头分离，3m铠装光纤连接，远离热源干扰，狭小空间也能便捷安装；

4. 多维度测量支持：单轴/双轴/三轴自由配置，搭配多种干涉探头，轻松实现多自由度测量；

5. 双重使用模式：PLR3000高精度位置反馈激光干涉尺既可作为激光干涉仪独立测量，也可接入系统实现闭环位置反馈控制；

二、产品优势

1. 精度碾压传统方案：相比钢带尺/玻璃光栅，栅距更精准、分辨率更高，环境补偿技术进一步保障数据稳定性；

2. 定制化适配能力：支持量程拓展、探头选配、多通道输出，根据客户生产场景量身定制方案；

3. 降本增效属性：体积小巧降低阿贝误差，安装快捷减少调试成本，动态测量能力适配高速生产线；

4. 全周期可靠保障：激光校准认证加持，数据可追溯，满足工业生产合规要求；

三、产品应用

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率；

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度；

注：产品参数将随技术迭代优化，相关内容可能实时更新，恕不另行通知，敬请谅解。

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