产品简介

中图仪器PLR3000位移高精度测量光纤激光尺有什么用？它配置高稳定氦氖光光源，稳频精度可达0.02ppm。激光通过保偏光纤引导，用户可轻松将光路配置到任意需要测量位置，减少阿贝误差。

PLR3000位移高精度测量光纤激光尺配置高稳定氦氖光光源，稳频精度可达0.02ppm。激光通过保偏光纤引导，用户可轻松将光路配置到任意需要测量位置，减少阿贝误差。

一、光纤激光尺有什么用

基于激光干涉测量原理，是一种高精度、高灵敏度、高速度的位置检测设备。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

二、光纤激光尺的优点

1. 纳米级信号输出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交数字/1Vpp正余弦信号双输出，适配各类控制器；

2. 全环境自适应：一体化环境气象站，实时补偿环境参数对测量的影响，数据长期可靠；

3. 灵活安装设计：激光主机与探头分离，3m铠装光纤连接，远离热源干扰，狭小空间也能便捷安装；

4. 多维度测量支持：单轴/双轴/三轴自由配置，搭配多种干涉探头，轻松实现多自由度测量；

5. 双重使用模式：既可作为激光干涉仪独立测量，也可接入系统实现闭环位置反馈控制；

三、光纤激光尺怎么用

1.高精度数控机床的位置反馈：如加工航空航天设备的高精度大型机床，此时就需要激光闭环来满足；

2.高精度大型坐标测量机：大型工件测量往往对精度和量程要求很高，同时还对温度非常敏感，光纤激光干涉尺的环境补偿组件可以对温度进行补偿，使之更合适高精度大型坐标测量机使用；

3.光刻机：光纤激光尺的高精度、高抗震性能，非常适合光刻机使用；

4.高精度运动平台：光纤激光尺安装在高精度直线电机上，做高精度直线电机的反馈，可直接提升运动平台的控制精度；

5.普通光栅尺刻划、检验：由于光纤激光尺的测量精度高出普通光栅尺一个数量级，所以可以使用光纤激光尺作为“母光栅"进行光栅尺的刻划、检验工作；

6、其他检验检测设备：配合高精度圆光栅，可以做丝杠导程误差的检测。双轴测量可减小阿贝误差，降低机械成本。

四、光纤激光尺使用案例

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率；

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度；

五、产品服务

1.定制化支持：按需提供量程拓展、线缆定制、探头配置等个性化方案，精准匹配客户具体场景（如8m长行程机床、5m航空部件检测）；

2.精度背书：提供深圳市jiliangyuan/中国jiliangyuan出具的校准证书，长量程测量数据可追溯，满足工业合规要求；

3.全周期服务：1年质保+7×24小时技术响应，长量程安装、拓展、调试全程提供专业指导，现场问题平均解决时效≤4小时。

注：产品参数随技术迭代优化，相关内容可能实时更新，恕不另行通知。

相比传统钢带尺或玻璃光栅，PLR3000位移高精度测量光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点，是特别为超高精度位置反馈应用而设计。

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