VT6000系列3D轮廓尺寸共聚焦显微镜主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；以及2)二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量。

VT6000轮廓尺寸检测共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000白光共焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器微观3D形貌共聚焦显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。

VT6000微纳米形貌测量共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

VT6000材料显微成像共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。