中图SJ6000激光干涉仪品牌具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
SJ6000激光干涉仪光学测量仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
SJ6000数控机床激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
中图仪器超精密激光干涉仪sj6000使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)。集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。
除了环境适应能力好,SJ6000超精密激光干涉仪在动态测量软件配合下还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。配备了EC20环境补偿单元,由环境补偿主机(内置湿度传感器和气压传感器)、空气温度传感器和3个材料温度传感器组成,可实现对空气温度、湿度、大气压力和材料温度的实时高精度检测。
SJ6000光学激光干涉测量仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量(数控机床、坐标测量机等),是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度,即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较,得出两个轴的垂直度。