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中图光学轮廓测量仪

简要描述:中图光学轮廓测量仪直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的分析功能,有一键分析功能,批量测量不用愁。

  • 更新时间:2022-05-07
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:38

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域环保,能源,印刷包装,烟草,综合

中图光学轮廓测量仪直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的分析功能,有一键分析功能,批量测量不用愁。


技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100%

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取



中图光学轮廓测量仪采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,可测2D/3D轮廓、粗糙度,300余种特征参数……在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径等。


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