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非接触3d光学轮廓仪

简要描述:SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪能够以优于纳米级的分辨率,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。

  • 更新时间:2022-06-29
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:101

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
应用领域医疗卫生,电子,航天,汽车,综合

SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,所具有技术竞争力在于接触式和光学三维轮廓仪的结合。主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。


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技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:100万~400万像素可选

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:行程140X100mm、200X200mm、300X300mm可选   尺寸 320X200mm、300X300mm、450X450mm可选

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100

水平调整范围:±2°、±5°、±6°可选

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


应用范例1.jpg


SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪可以同时有探针扫描和样品台扫描两种模式。探针扫描利用电压驱动探针在大范围达到500x500微米的区域内移动并且产生*分辨率的图像。样品台扫描则是移动样品台来产生高分辨率的图像。只需要一键,就可以切换两种模式。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。


主要应用领域

1、用于太阳能电池测量;

2、用于半导体晶圆测量;

3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量;

4、用于机械部件的计量;

5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。



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