以激光干涉技术为核心,SJ6000激光干涉仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。有测量机床回转轴精度、直线度、线性、运动导轨的俯仰角、扭摆角、定位精度、垂直度等检测功能,且可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
中图仪器的国产sj6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现平行度、线性测长、直线度、垂直度、角度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
SJ6000激光干涉仪量程精度高,可以弃普通车间进行应用,环境适应能力强,同时可进行动态高速测量,配以相应元件后还可以测量线速度、角度、平面度、振动幅度及速度等。
SJ6000机床设备激光干涉仪品牌以光波为载体,其光波波长直接对米进行定义,广泛应用于机床、精密机械设备、3D打印设备、自动化设备、三坐标、机器人、线性位移平台、精密检测仪器等领域的线性测量,是高精度、高灵敏度测量仪器。
精密激光干涉仪具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
国产激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;