相比传统钢带尺或玻璃光栅，中图仪器0.2ppm线性测量精度激光干涉尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点。

PLR3000高精度激光干涉尺产品分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

PLR3000纳米级高精度激光干涉尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

PLR3000系列0.2ppm激光干涉尺测量仪是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量。

PLR3000多自由度光纤激光尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

PLR3000微米级高精度光纤激光尺是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量。