CEM3000一键快速成像扫描电镜全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列台式扫描电镜,不仅拥有强大的抗振性能和高效的工业应用能力,而且操作灵活和成像质量可靠。
NS系列磁吸式测针台阶仪台阶高度重复性能低于5A,Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。
CEM3000简易操作台式扫描电镜外型紧凑,空间适用性强,整机采用大量的抗干扰设计,避免使用环境造成的影响,拓宽了应用范围。同时,该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能,能够对不同类型的样品进行观测,具有高空间分辨率。
CEM3000国产高性能扫描电镜全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,凭借空间分辨率出色和易用性强,用户能够非常快捷地进行各项操作。甚至在自动程序的帮助下,无需过多人工调节,便可一键得到理想的拍摄图片。
VT6000微纳三维形貌共聚焦显微镜通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中,其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。
SuperViewW白光三维表面形貌仪测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。